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2023-04-14 產(chǎn)品中心/ products
otsukael積分光度計除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過(guò)實(shí)現自動(dòng)可變測量角度機構來(lái)兼容所有類(lèi)型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外，還通過(guò)為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機構提高了測量精度。
產(chǎn)品型號：SLS-6500HL廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2023-04-21訪(fǎng) 問(wèn) 量：853
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otsukael靜態(tài)光散射光度計 積分光度計SLS-6500HL的介紹
除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過(guò)實(shí)現自動(dòng)可變測量角度機構來(lái)兼容所有類(lèi)型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外，還通過(guò)為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機構提高了測量精度。
可在紫外-可見(jiàn)（300 至 800 nm）波長(cháng)范圍內測量橢圓參數
能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
通過(guò) 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
支持通過(guò)可變反射角測量對薄膜進(jìn)行詳細分析
通過(guò)創(chuàng )建光學(xué)常數數據庫和添加配方注冊功能提高可操作性
橢圓參數（tanψ，cosΔ）測量
光學(xué)常數（n：折射率，k：消光系數）分析
膜厚分析
半導體ウェーハ
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光學(xué)定數(波長(cháng)分散)
化合物半導體
AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜
光學(xué)薄膜
TiO2，SiO2，反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(xiàn)(436nm)，h線(xiàn)(405nm)，i線(xiàn)(365nm)などの各波長(cháng)におけるn，k評価
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